• Se pueden detectar elementos con número atómico 11 (sodio) a 92 (uranio) a concentraciones • desde ppm hasta 100%. • Las muestras son bombardeadas con protones de alta energía (rayos X), que desplazan electrones de las capas internas del átomo. • Átomos externos ocupan los sitios vacantes dejados por los electrones desplazados, emitiendo radiación equivalente a la diferencia de energía entre los dos estados. • La longitud de onda de la radiación emitida es característica del elemento y la intensidad de la radiación es proporcional a la concentración del elemento.